2026上海国际电子气体与应用技术展览会

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2026上海国际电子气体与应用技术展览会
时间： 2026年12月9-11日
地点： 上海新国际博览中心

展会背景
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，被业内称为电子工业的“血液”和“粮食”。随着市场竞争的日益加剧，电子气体对我国半导体产业的发展起着至关重要的作用。我国战略性新兴产业要实现从“跟随”走向“引领的”的跨越，电子气体的突破将是重要一环。因此，电子气体国产化是未来行业发展的必然趋势，这给国内专业的气体生产企业带来了巨大的机遇。
作为电子工业体系的核心关键原材料之一，高纯电子气体一直受到欧美日等发达国家的技术封锁。由于其在国防军事、航空航天、新型太阳能电池、电子产品等方面有着极其广泛的应用。近几年来，随着中国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。目前高纯特种电子气体的研发与产业化已作为中国极大规模集成电路制造装备及成套工艺的核心部分，被列入中国国家科技重大专项。「2026上海国际电子气体与应用技术展览会」主题为“科技赋能产业，创新引领未来”，围绕全球发展趋势、技术需求变革、产业链机遇、供应链稳定保障等核心议题展开深入讨论，共话行业未来，共谋创新路径。本次展览为企业树立品牌形象，促进贸易合作、市场开发，引领行业趋势。为参展企业和参会客商提供了一个技术交流、产品展示和贸易洽谈的最佳平台。推动我国气体产业实现高质量发展。



展品范围：
◆电子大宗气体：氮气、氦气、氧气、氩气、氢气和二氧化碳等；
◆电子气体：1）掺杂气体：三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等；2）蚀刻清洗气体：氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等；3）反应气体：二氧化碳、氨、氧化亚氮等；4）沉积气体：六氟化钨、 三甲基镓等；5）光刻气体：氟化氩、氟化氪等；6）半导体电子特气：超纯氨、高纯氧化亚氮、正硅酸乙酯、高纯二氧化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合气等；7）惰性气体：氦、氖、氩、氪、氙、氡、气奥等；
◆电子特种气体：笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体；
◆制备高纯电子气体纯化技术、气体合成、电解技术、电解电源、净化技术、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测、气瓶与压力容器、气体分离设备、纯化设备、精密过滤器、气体洁净充装技术、高纯混合气体配制系统、电子气体输送系统与运输技术、洁净管路、泵、阀等流体；




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